洁净室洁净等级的进步一定要经过改动空气中某一范围内悬浮粒子的浓度来完结，最底子的办法是进步换气次数来减小悬浮粒子浓度进步洁净等级。以实践改造项目为例，介绍了洁净室的现状，详细的改造计划，改造施行进程，最终经过查验测验的数据证明洁净室洁净等级得到了进步，到达了改造意图。

  洁净室是指空气中的悬浮粒子浓度操控在某一范围内且密闭性较好的空调房间[1]。现在洁净室多使用于精密机械、医药、微电子等职业［2-3]。某科研院所现有扫描探针显微镜实验室一、二和纳米节操结构校准实验室一、二洁净室等级分别为６级和７级，为满意微电子标淮器材检测的需求将其改造进步为５级，其他温湿度环境条件坚持原参数不变。

  扫描探针显微镜实验室一、二和纳米节操结构校准实验室一、二坐落修建物地下一层，其平面图图如图１所示。４个房间面积约为210㎡。扫描探针显微镜实验室一、二的空调由K6空调机组供应， 纳米节操结构校准实验室一、二的空调由K7机组供应。扫描探针显微镱实验室一全年温度要求为20°Ｃ ±0.5°Ｃ，扫描探针显微镜实验室二全年温度要求为20°Ｃ ± 0.2°Ｃ，两个房间湿度要求为50％ ±10％，洁净等级为６级；纳米节操结构校准实验室一、二全年温度要求为20°Ｃ ± 0.5°Ｃ，湿度要求为50% ±10％，洁净等级为７级。K6和K7均为组会式空气处理机纸。４个房间的气流组织方式为上送下回，空气经组合式空气处理机组处理后经高效过滤器送至房间吊顶上部的静压箱内，再经送风孔板送至室内满意使用上的要求，下部选用地板格栅回风，回风经格栅地板由回风夹层的回风口经回风夹层回至夹层，由回风管道回至机组。４个房间在不改动温湿度条件的情况下改造晋级为５级。

  依据GB50073-2013《洁净厂房规划规范》的规定， 洁净室洁净等级的进步需求经过进步房间换气次数来完结对室内空气中悬浮粒子浓度的操控到达洁净等级要求。房间吊顶层高高度满意装置FFU风机需求， 所以本次改造选用组合式空气处理机组AHU＋FFU［４］风机过滤器单元的方法满意改造需求。详细如下。

  １）AHU（ 原组合式空气处理机组）：不做调整，坚持原运转工况，坚持原室内温湿度环境要求。

  ２）添加FFU（风机过滤器单元）：经过増加FFU来増加室内换气次数进步空气的洁净等级。各房间FFU装备数量如表１所示，排布图如图２所示。

  ３）增设岩棉彩钢板隔墙回风夹道，回风夹道宽0.5m，高3.1m，满意FUU回风量要求，如图３所示。

  ４）在隔墙上增设带调理风阀的单层百叶回风口，满意５级洁净等级对对应循环风量要求，如图４所示。

  １）撤除现有吊顶，更换为FFU专用的M55吊顶龙骨， 吊顶完结面由本来的３ｍ下降至2.7ｍ ， 确保FFU均流层总高操控在1ｍ 以内， 便于今后人员对FFU的检修。

  ２） 原有消防喷淋头需求跟从吊顶龙骨移位至Ｍ70吊装龙骨十字孔洞内， 现有的消防喷淋头更换为洁净室专用消防喷淋头。

  ３） 需撤除现有高架地板装置増加的FFU洁净板回风夹道隔墙，待回风夹道装置好后康复高架地板。

  ４） 添加配电线路，本次改造共添加FFU158台，每台功率350Ｗ ， 全负荷运转为55.3ｋＷ ， 需添加该部分供电负荷。

  改造完结后， 对该洁净室的风量、浩净度、换气次数、沉降菌， 静压差、温度、相对湿度、照度、噪声这一些数据进行了检测。各查验测验采样点如图５~图７所示。

  各房间的查验测验的数据如表２~表５所示， 由表可知各房间均到达了改造方针洁净等级５级。

  在不改动原有组合式空气处理机组空调供应方式的基础上，经过增设FFU和回风夹道使空气中的悬浮粒子浓度得到操控，洁净等级得到进步，温湿度坚持原参数不变，完结了改造的方针。该改造对洁净室洁净等级进步改造具有学习含义，值得在此类别改造中推行和使用。

  [2] 郑茹悦.高校十万等级洁净室的规划、保护与办理[J].洁净与空调技能,2021(03)

  [3] 安志聪.电子工业洁净厂房净化空调自控体系规划[J].修建电气，2021,40(09)

  [4] 赵阳.集成电路洁净室空调计划节能剖析[J].洁净与空调技能,2022(01)